リフトオフオプションSuffix System(超音波効果向上システム)
剥離槽の超音波の効率を上げるシステム(特許取得技術)
・剥離槽の超音波量を増やし、洗浄効率を向上させる効果を有する
・ウエハーカセットによる減衰(超音波の陰)が出にくい
・カセット内でウエハー回転は不要
・処理時間の大幅短縮(当社テスト)
・常温剥離液でも安定した処理が可能
・危険な薬液を使用せず処理が可能
詳しくは、ページ下部フォームよりお問合せください。
- 対応装置
- ・HU型
・CHU型
・SL型
・ML型
※各型式の詳細は、「リフトオフ」リンクからご覧ください。