剥離・洗浄レジスト剥離・有機洗浄装置
レジスト剥離を始めとする、有機剥離洗浄を行う装置
・メンテナンス性に優れた、背面上部搬送機タイプ。
・超音波は、低周波から高周波まで対応。スイープタイプや多周波タイプ等、ワークに合せて提案
・揺動機構に対応。
・有機溶剤と酸・アルカリ系の混在仕様も対応可能
・角基板、小片ウェハ等、特殊な形状のワークもカセット設計から対応可能
・手動タイプから全自動タイプまで、仕様・予算に合せてご提案可能
・剥離槽の数、リンス槽の数、乾燥方式等カスタマイズ可能
★東京テストセンターにて洗浄テストが可能です
詳しくは、ページ下部フォームよりお問合せください。
- カスタマイズ
- ・漏洩センサー
・排気圧センサー
・非常停止スイッチ
・一時停止スイッチ(自動メカ付)
・扉センサー(自動メカ付)
・圧力スイッチ
・温度センサー(恒温度仕様)
・自動消火システム
・パトライト
・網入りガラス又は強化ガラス
・爆圧ハッチ
・各種インターロック 等
※装置により一部機器は取付できない場合もある