)2.08m3m3m3※JISにはクラス9の設定なし239Federal STD-209E19920.1～(5)0.5μm粒子の10のべき乗数≧ 5μm838328320293293029300293000備考1. 上限濃度は対象粒径以上の粒径濃度を表している。クリーンルームの空気清浄度は、古くから米国連邦規格 Federal STD-209が清浄度の規格として長く用いられ、クラス100、クラス1000、 クラス10000という清浄度クラスもこの規格に由来していました。しかし、2001年11月に廃止となり、現在では、ISO14644-1が清浄度評価 方法も含め唯一の国際規格となっています。また、ISO14644-1は2015年に改訂され、それに基づき、日本産業規格（JISB9920）も 改訂されています。クリーンルームの規格についてISOISO14644-120150.1～(5)≧ 0.1μm≧ 0.2μm10100241000237100002370100000237001000000237000日本JISB992020190.1～(5)0.1μm粒子の10のべき乗数上限濃度(個/㎥)測定粒径≧ 0.3μm---------------------クリーンテクノロジー概要クリーンルームフィルタユニットエアシャワーパスボックスクリーンブースクリーンベンチ無菌設備クリーンロッカー0410102102010200102000アメリカFederal STD-209D19880.1～(5)ft30.5μm粒子の数≧ 0.5μm≧ 1μm35352352035200352000832003520000832000352000008320000国名等規格年度粒径範囲(μm)単位体積クラス値の意味0.1μm粒子の10のべき乗数清浄度クラスISO / JISFederal STD-209Eクラス1クラス2クラス3クラス1クラス4クラス10クラス5クラス100クラス6クラス1000クラス7クラス10000クラス100000クラス8クラス92. 上限濃度は、粒径0.1および0.5µmの値を基準としている。3.上記表に示されていない清浄度クラス粒径範囲内の上限濃度は、次の式で求める。0.1D Cn=10N×( ここに、 Cn:浮遊微粒子の上限濃度（空気1m3あたり）。粒径D以外の粒子を対象とする。 Cnは、有効数字3桁とし、端数は切捨てとする。 N:クラス数。1～9。中間クラスは1.1～8.9。D:測定粒径(µm)。0.1:定数(µm)。［ 清浄度クラス ］クリーンルーム清浄度に関する規格
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