クリーンテクノロジー概要クリーンルームフィルタユニットエアシャワーパスボックスクリーンブースクリーンベンチ無菌設備クリーンロッカー04室内清浄度ISOクラス5の場合に利用される方式。室内循環気流が、天井全面に配置されたHEPAユニットから吹出した清浄空気を、床面または周囲壁面下部へ層流で排出し、循環させます。室内に乱流がなく、また室内で発生した塵埃も、瞬時に室外へ排出されるため、最も望ましい方法です。ICP/MSとクリーンドラフト同時排気なし外気取入れ室内空気還気ファン加湿チャンバーボリュームダンパボリュームダンパ機械室パッケージエアコン（クリーンルーム恒温恒湿用）241室内循環気流により、天井部に配置したHEPAユニットから吹出した清浄空気を、壁面下部のガラリまたは陽圧のダンパから室外へ排出。室内を陽圧に維持します。室内清浄度もISOクラス6～8までのクリーンルームに、最も多く利用される方式です。フロー図排気系ダクト温湿度調整給気ダクト二次排気ダクトドライエリアへチャッキダンパガラリ陽圧排気メンテ用スペース室内の一方の壁面に配置されたHEPAユニットから吹出した清浄空気を、室内の循環気流により、反対側壁面へ層流で室外へ排出。室内全域を高い清浄度に維持します。風上で汚染が発生すると風下へ影響するため、室内レイアウトに考慮が必要です。室内空気換気ダクト冷媒配管外気取入れダクトモータダンパボリュームダンパ陽圧ダンパ陽圧排気分析室更衣室エアシャワーICP/MS機器室内吸込みガラリ（リターン用）室内空気還気用ファンモータダンパボリュームダンパボリュームダンパフィルタユニットフィルタユニットガラリ前処理室クリーンドラフト室内吸込みガラリ（リターン用）室外機インバータ制御排気ファン外気処理ユニット外気取入れファン防火ダンパ送風機電気ヒータ冷却器加湿器排水給水パネル組立て式クリーンルームの種類ホリゾンタル・ラミナーフロー式（水平層流式）ISOクラス5・上流の影響が下流に及ぶ・詳細な管理が必要・構造が簡単であるラミナーダウンフロー式（垂直層流式）ISOクラス5・効果を最適化・設備費が高価・管理が比較的容易である・ 天井、床にダクトスペースが必要なため、 建築に制限があるコンベンショナル式（乱流式）ISOクラス6～DUST Controlled Area・最も一般的で安価・比較的使いやすい・管理が容易である
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