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エッチング縦型スピンエッチング(洗浄)装置

装置独自の構造により、ワーク裏面への液の回り込みを窒素圧で封じ込め

・薬液槽を持たないスプレー方式(高圧スプレー可能)を採用
・薬液を循環することで、繰り返し使用に対応。温度管理、濃度管理も可能
・真空チャックとN2ガス噴射併用またはN2ガス噴射とガイドピン
・乾燥はスピン、N2ブローを採用
・チャックの工夫により異サイズウエハーの兼用機も可能
・HF、リン酸のエッチングにも対応

詳しくは、ページ下部フォームよりお問合せ下さい。

チャンバー内部

チャンバー内部

チャック部

枚葉式スピンエッチング装置
ローダー兼アンローダー

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株式会社ダルトン(以下弊社という)は、個人情報を適切に取扱うべく次の通り個人情報保護方針を策定し、これを実施し維持・改善に取り組んでおります。
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    および関連会社である株式会社イトーキ
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    上記「個人情報の利用目的について」記載の利用目的の範囲内
  4. 共同利用する個人情報の管理責任者
    弊社

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お客様に関する個人情報の確認・訂正・削除に関する弊社のお問合せ先は次の通りです。
〒104-0045
東京都中央区築地5-6-10 浜離宮パークサイドプレイス
株式会社ダルトン 情報システム部
連絡先:isd@dalton.co.jp

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採用応募者に関する個人情報保護方針
弊社は、弊社への入社採用募集に対してご応募いただく皆様(以下「応募者」といいます)の氏名・住所・電話番号・電子メールアドレス、その他の記述により、個人を特定し得る情報(以下「応募者情報」と表記)を適切に保護するための個人情報保護方針を制定し、遵守してまいります。また、応募者は、ご応募になる時点でこの方針に同意したものと取り扱いますので、この方針をご確認頂き内容をご理解いただくよう、お願いいたします。
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弊社は、以下の場合に応募者情報を収集することがあります。
  1. 弊社の採用ホームページ等を通じて、弊社の採用募集に対して応募をする場合
  2. 応募者が弊社に電子メール、郵便、書面、電話または口頭などの手段によって何らかの情報を送付または提供する場合
応募者情報の利用目的
弊社は、以下の目的のために、応募者情報を利用させていただきます。また、採用選考の結果、採用者の応募者情報は社員情報として引き続き管理することとし、その他の場合については、適切な方法にて消去いたします。なお、応募者情報から個人の特定が不能なデータを抽出し、当該データから統計資料を作成するなど、統計、分析その他の目的で利用させていただくことがあります。
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  2. 弊社が採用選考を行うため。
  3. 採用選考に関するご連絡等の事務処理のため。
  4. 入社手続き等の案内のため。
  5. 就業後の雇用管理のため。
  6. 将来の採用選考の促進及び効率化に向けた研究のため。
  7. その他採用活動業務全般に関連・付随する業務に使用すること。
応募者情報の管理
弊社では、応募者情報を、応募者情報に関する統括責任者のもとで、適切に管理します。なお、応募者は、自己の応募者情報の管理状況につき弊社に問い合わせることができ、合理的な範囲内で問い合わせに応じるものとします。ただし、採用活動の内容および応募の合否についての問い合わせには一切お答えできません。弊社は、以下の場合に応募者情報を収集することがあります。
応募者情報の第三者への提供
  1. 応募者が事前に承諾された場合。
  2. 国の機関または地方公共団体が法令の定める業務を遂行することに対して協力する必要がある場合。
応募者情報に関する個人情報取扱いの委託
弊社の業務運営を円滑かつ効率的に遂行するため、採用選考に応募することを目的としてご応募いただいた採用応募者に関する個人情報は、弊社と業務委託契約を締結している委託先のデータサーバーに格納することで保管されます。なお、当該委託先に対して弊社が委託する業務は上記登録フォームに登録された情報の保全・管理のみであり、当該委託先が、上記記載の「応募者に関する個人情報の収集・利用目的」の範囲を越えて応募者の個人情報を開示、使用、処分しないよう、弊社は必要かつ適切な監督を実施します。
採用活動に関する個人情報保護方針の変更
弊社は本方針を応募者の承諾を得ることなく、随時変更できるものとします。
採用活動に関する個人情報保護方針についてのお問い合わせ先
採用活動に関する個人情報の確認・訂正・削除に関する弊社のお問合せ先は次の通りです。
〒104-0045
東京都中央区築地5-6-10 浜離宮パークサイドプレイス
株式会社ダルトン 人事部
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