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エッチング縦型スピンエッチング(洗浄)装置

装置独自の構造により、ワーク裏面への液の回り込みを窒素圧で封じ込めます。

■薬液槽を持たないスプレー方式(高圧スプレー可能)を採用。薬液を循環することで、繰り返し使用に対応。
 温度管理、濃度管理もできます。
■真空チャックとN2ガス噴射併用またはN2ガス噴射とガイドピン。
■乾燥はスピン、N2ブローを採用。
■チャックの工夫により異サイズウエハーの兼用機も可能。

チャンバー内部

チャンバー内部

チャック部

枚葉式スピンエッチング装置
ローダー兼アンローダー

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