リフトオフHM型(研究開発・量産向け)
少量多品種の生産・試作・開発に対応した枚葉処理モデル
・高圧ジェット処理のみで剥離が可能なウエハーに最適
・バリが出にくいウエハー向け
・超精密洗浄が可能なメガソニックシャワー・パドル機構に対応(オプション)
・ローダー数、スピンチャンバーの数などカスタマイズ可能
★東京テストセンターにてリフトオフテストが可能です
詳しくは、ページ下部フォームよりお問合せください。
- カスタマイズ
- ・ローダー
・スピンチャンバー
・アンローダー
- 対応オプション
- ・USF System
・ISF System
・新ジェットチャンバー機能
※オプションの詳細は「リフトオフオプション」リンクからご覧ください。