リフトオフオプション新ジェットチャンバー機能
チャンバー内に付着したスラッジ(金属膜)を自動でクリーニングするシステム
チャンバー内のスラッジの滞留を防ぐことでウエハーへの再付着を防止し、歩留まりの向上に寄与します。
システムは大きく3つの機構に別れます。
・アンチスカターシャワー
チャンバー内側へ向けてリサイクル液を吐出する事により、スラッジ(金属膜)付着防止及び飛散防止を実施
・インナーアラウンドスプレー
チャンバー内に流れたスラッジ(金属膜)をより確実に回収する為に、チャンバー内に液流を作るノズルを増設
・カスケードドロップ
チャンバー底部へ向けてリサイクル液を吐出し、スラッジの洗浄と除去を実施。
※アンチスカターシャワー、インナーアラウンドスプレーで使用する液はバッファタンクから供給
詳しくは、ページ下部フォームよりお問合せ下さい。
- 対応装置
- ・HU型
・CHU型
・HM型
・MJ型
※各型式の詳細は、「リフトオフ」リンクからご覧ください。