リフトオフオプション蒸気2流体洗浄装置
薬液を使用しない環境に優しい洗浄装置です
★蒸気2流体とは…
・水蒸気(気体)と水(液体)を超音速で噴射して異物を
除去する事が可能です
・蒸気と水の2流体を超音速で噴射させ、無数の水滴が対象
物に衝突する事で、水滴中にキャビテーション(真空の
泡)を発生させます
・真空の泡がつぶれるときに発生する衝撃波の力を利用
して除去します
<メリット>
・薬液を使わないため安全
・低コスト
・薬液の保管が不要
・非接触のため消耗品なし( ブラシなどとの比較)
・衝撃波が対象物表面の水膜中を伝わり、穴や溝の中にも効果が及ぶ
・原料が水だけなので環境にやさしい
<用途例>
・付着した異物の除去
・油成分の除去
・糊などの接着剤の除去
・メタルリフトオフ(半導体、LEDなどの配線工程)
・研磨後の洗浄(研磨剤、研磨くずの除去)
・研磨布の再生(目詰まり解消)
・レジスト剥離