陽極酸化全自動陽極酸化装置
陽極酸化装置は従来、電流を流し酸化膜を形成させる装置でしたが、さらに応用したポーラスシリコン形成装置は使用薬液・電流密度を変えることで多孔質シリコンを形成する装置です。
・多孔質シリコンを全自動にて形成
・裏面保護用治具を使用しない為カセットtoカセットが可能
・N型、P型両方に対応
・2~6インチまで各種サイズに対応。8インチ以上はご相談下さい。
ナノシリコン技術としてバイオメディカル・二次電池・太陽電池・半導体プロセス分野の新用途開発にも可能性が広がります。
※孔の直径やポーラスシリコン層の厚さはご相談下さい。
詳しくは、ページ下部フォームよりお問合せ下さい。