その他ストッカー・保管庫
さまざまな用途に対応したストッカーをご用意しております。
【キャリアストッカー】
・キャリアをそのまま又はケースに入れた状態で保管するものです。
・庫内はクリーンな環境が維持できます。
【レチクルキャリアストッカー】
・レチクルをステッパー用ケースに入れた状態で保管するものです。
・庫内はクリーンな環境が維持できます。
・バーコード管理にも対応できます。
【石英管保管庫】
・石英管や治具を安全に保管出来ます。
・縦型保管と横型保管を選べます。
・オプションにてN2パージやクリーンエアー乾燥等装備可能です。
【薬品保管庫】
・クリーンルームに対応した排気機能付き薬品保管庫です。
・酸・アルカリ系薬品に適した塩ビ製、有機系薬品に適したステンレス製の製作ができます。
詳しくは、ページ下部フォームよりお問合せ下さい。
- 特長
- ○キャリアストッカー
キャリアをそのまま又はケースに入れた状態で保管するものです。庫内はクリーンな環境が維持できます。
○レチクルキャリアストッカー
レチクルをステッパー用ケースに入れた状態で保管するものです。庫内はクリーンな環境で保管できます。ケースNo. で管理できます。
○石英管保管庫
石英管や治具を安全に保管出来ます。縦型保管と横型保管を選べます。オプションにてN2 パージやクリーンエアー乾燥等装備可能です。
○薬品保管庫
クリーンルームに対応した排気機能付き薬品保管庫です。硬質塩化ビニール製ですので酸系薬品の保管に適しています。薬品の仕様によってはSUS製も製作可能です。
