DFC型ドラフトチャンバー DFC10 標準型 DFC11 上置活性炭型 DFC12 横置活性炭型 DFC13 背面活性炭型 DFC14 上置スクラバー型 DFC15 横置スクラバー型 DFC16 背面スクラバー型 DFC40 ウォークイン型 スクラバーユニット DFU91 活性炭ユニット DFU92 DFA型ドラフトチャンバー DFA40 ウォークイン型