DFC型ドラフトチャンバー DFC50 酸分解作業用 DFC51 過塩素酸作業用 DFC53 酸常温作業用 DFC54 樹脂製 DFC55 樹脂製背面スクラバー型 DFC60 内装ステンレス型 DFC79 粉体作業用背面フィルター型 DFC80 RI実験片面型 DFC81 RI実験両面型 DFC82 RI実験大型装置用