半導体関連
カタログ
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半導体関連装置
レジスト剥離 / 自動リフトオフ装置
【 動画アリ 】
バッチ処理の槽浸漬方式と枚葉処理の高圧スプレー方式を併用した独自のシステムや、枚葉処理の槽浸漬方式などご提案できます。テストの結果により的確な仕様の装置を設計・製作いたします。
※弊社工場にテスト装置があり剥離テストが行えます。
半導体関連装置
Suffix System
【 動画アリ 】
超音波におけるWafer表面への洗浄または剥離効果を劇的にアップし、高効率で生産に寄与するシステムです。
半導体関連装置
インラインスラッジ除去装置II
【 動画アリ 】
カスが混入した薬液を循環させ、カスを分離排出する循環式インラインスラッジ除去（カス回収）装置。フィルターメンテナンスフリーを実現しました。
半導体関連装置
ミスト回収装置
洗浄装置の排気口に取り付けることで、排気ダクト内でのミストの液化を起こりにくくすることが出来ます。
半導体関連装置
枚葉式スピン洗浄（エッチング）装置
【 動画アリ 】
従来型の水平スピン処理以外に、垂直に処理をする省スペース型の装置もご提案できます。
半導体関連装置
バッチ式洗浄（エッチング）装置
酸、アルカリ、有機洗浄装置をお客様の仕様にあわせ設計製作いたします。実績も多数あり安心してお使いいただけます。
半導体関連装置
陽極酸化装置
ガラス（アルミ膜）、アルミ、シリコンWaferなどさまざまなワークに対応した装置の実績があります。
半導体関連装置
乾燥装置
スピンドライヤー、クリーンオーブン、温純水引き上げ乾燥やIPAベーパー乾燥装置などさまざまなニーズとお客様のご予算に応じた最適な乾燥方法をご提案いたします。
半導体関連装置
クリーン関連
キャリアストッカーやレチクルキャリアストッカーなどクリーンな環境での保管庫、クリーンベンチやクリーンドラフトなどのクリーン機器を取り揃えています。
半導体関連装置
マルチドラフトチャンバー
チャンバー内部（作業スペース）に、槽などの機器をユニットとして組み込み可能なドラフトチャンバーです。
半導体関連装置
枚葉式自動洗浄（エッチング）装置
【 動画アリ 】
大口径ワーク洗浄を考慮した枚葉垂直搬送式の洗浄（エッチング）装置です。これにより使用する薬液の節約や省スペース化が可能となりました。複数のワークサイズにも対応が可能です。
半導体関連装置
枚葉ブラシ洗浄装置
ガラスマスク、ハードディスクなどさまざまなワークに対し設計製作いたします。処理時間の短縮を考慮した装置がご提案できます。
半導体関連装置
治具洗浄装置
石英、ステンレス製などさまざまな治具の洗浄で、作業者が使い易いく安全な装置をご提案いたします。
半導体関連装置
石英管洗浄装置
石英管を横にして処理をする方式だけでなく、省スペース化を可能とした縦処理方式もご提案できます。
半導体関連装置
薬液供給 / 薬液回収装置
設置スペースなどの諸問題から洗浄（エッチング）装置から分離した装置です。使い勝手と安全性を考慮し設計製作いたします。
半導体関連装置
マイスピンナー DACシリーズ
研究・開発向けの低コストでハイスペックなスピンナーです。
半導体関連装置
ボンベ加熱装置
半導体製造工程などで使用する高純度ガスボンベ内に付着している不純物を除去する装置です。
