2024.11.14
SEMICON JAPAN 2024 出展のお知らせ
SEMICON JAPAN 2024 に出展致します。
ご来場の際には、是非ダルトンブースへお越し下さい。
●開催概要
日時:2024年12月11日(水)~12月13日(金)10:00~17:00
場所:東京ビッグサイト [アクセス方法]
来場事前登録専用URL:来場事前登録はこちらから
ダルトンブース:5237(東5ホール)
FOUP洗浄装置や両面ブラシ手動スピン洗浄装置を展示し、
その性能や仕様を専門スタッフがご説明致します。
出展製品の他に弊社取り扱い製品をグラフィック・動画にてご紹介致します。皆様のご来場をお待ちしております。
●主な出展製品
FOUP洗浄装置
独自の洗浄処理で残渣やパーティクルの洗浄が可能です。
更に、瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能であり、
高い洗浄能力を有しています。
また洗浄液は純水のみで使用量も少ないため、環境負荷低減に繋がります。
FOUP BOXと蓋を別エリアにて洗浄・真空プロセスにかけることも可能です。
今回の出展では真空洗浄チャンバーのみの展示となります。
両面ブラシ手動スピン洗浄装置
一度にウエハーの表面・裏面をブラシ洗浄する装置です。
2流体洗浄との併用により、強固な付着物や微細なパーティクル除去が可能です。
主にCMP後の洗浄で使用します。