SEMICON JAPAN 2024 に出展致します。
ご来場の際には、是非ダルトンブースへお越し下さい。

●開催概要

日時：2024年12月11日（水）～12月13日（金）10:00～17:00
場所：東京ビッグサイト　[アクセス方法]
来場事前登録専用URL：来場事前登録はこちらから
ダルトンブース：5237（東5ホール）

FOUP洗浄装置や両面ブラシ手動スピン洗浄装置を展示し、
その性能や仕様を専門スタッフがご説明致します。
出展製品の他に弊社取り扱い製品をグラフィック・動画にてご紹介致します。皆様のご来場をお待ちしております。

●主な出展製品

FOUP洗浄装置

独自の洗浄処理で残渣やパーティクルの洗浄が可能です。
更に、瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能であり、
高い洗浄能力を有しています。
また洗浄液は純水のみで使用量も少ないため、環境負荷低減に繋がります。
FOUP BOXと蓋を別エリアにて洗浄・真空プロセスにかけることも可能です。
今回の出展では真空洗浄チャンバーのみの展示となります。 

両面ブラシ手動スピン洗浄装置

一度にウエハーの表面・裏面をブラシ洗浄する装置です。
2流体洗浄との併用により、強固な付着物や微細なパーティクル除去が可能です。
主にCMP後の洗浄で使用します。

SEMICON JAPAN 2024 公式サイト