製品ラインアップ
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その他ストッカー・保管庫

さまざまな用途に対応したストッカーをご用意しております。

【キャリアストッカー】
■キャリアをそのまま又はケースに入れた状態で保管するものです。
■庫内はクリーンな環境が維持できます。

【レチクルキャリアストッカー】
■レチクルをステッパー用ケースに入れた状態で保管するものです。
■庫内はクリーンな環境が維持できます。
■バーコード管理にも対応できます。

【石英管保管庫】
■石英管や治具を安全に保管出来ます。
■縦型保管と横型保管を選べます。
■オプションにてN2パージやクリーンエアー乾燥等装備可能です。

【薬品保管庫】
■クリーンルームに対応した排気機能付き薬品保管庫です。
■酸・アルカリ系薬品に適した塩ビ製、有機系薬品に適したステンレス製の製作ができます。

レチクルキャリアストッカー内部

レチクルキャリアストッカー内部

レチクルキャリアストッカー内部

石英管保管庫

石英管保管庫内部

薬品保管庫

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