各処理工程にオプションを組込むことでウエハーの状態に合わせた装置設計を実現します。
予算、スペースも考慮した設計でお客様の安全を第一に考えた製品をご提供します。
ワークフロー
お客様が最適な製品造りを実現できるよう、ダルトンは既存の装置、仕様にこだわらず
最適な装置となるようカスタマイズ致します。
- STEP
- 1
仕様打合せ
お客様のご要望から最適な装置、仕様、オプションの選定を行ないます。
- STEP
- 2
テスト
弊社テストセンターにてお客様のワークを実際にテストし評価します。
- STEP
- 3
見積仕様書
お客様のご要望とテスト結果を基に装置、仕様を決定し、見積します。
- STEP
- 4
契約
- STEP
- 5
製作
- STEP
- 6
工場検査
工場出荷前に社内立会いはもちろん、お客様の立会い検査も実施致します。
- STEP
- 7
搬入
- STEP
- 8
立上試運転
装置搬入・設置後、製品の試運転を行い、生産できる体制まで責任を持って作業致します。
- STEP
- 9
引渡し
- STEP
- 10
アフターフォロー
装置の定期点検の実施、不具合発生時にも敏速に対応致します。
カスタマイズ
予算・スペースを考慮し、各処理工程とオプションを組合せることで
ウエハーの状態に合わせた装置設計を実現します。
装置別参考構成図
リフトオフ装置
HU型 量産向け
CHU型 研究開発・量産向け
ＨＭ型 研究開発・量産向け
MJ型 研究開発向け
SL型 量産向け
ML型 研究開発向け
自動 酸・アルカリ洗浄装置
SR型
1カセット処理
4層×スピンドライヤー式
ローダー／アンローダー兼用タイプ
2カセット処理 6層×スピンドライヤー式
自動 有機剥離洗浄装置
SU型
IU型
