お客様のご要望に応えるカスタマイズ力
CUSTOMIZE

各処理工程にオプションを組込むことでウエハーの状態に合わせた装置設計を実現します。予算、スペースも考慮した設計でお客様の安全を第一に考えた製品をご提供します。

ワークフロー

お客様が最適な製品造りを実現できるよう、ダルトンは既存の装置、仕様にこだわらず最適な装置となるようカスタマイズ致します。

STEP
1

仕様打合せ

お客様のご要望から最適な装置、仕様、オプションの選定を行ないます。

STEP
2

テスト

弊社テストセンターにてお客様のワークを実際にテストし評価します。

STEP
3

見積仕様書

お客様のご要望とテスト結果を基に装置、仕様を決定し、見積します。

STEP
4

契約

STEP
5

製作

STEP
6

工場検査

工場出荷前に社内立会いはもちろん、お客様の立会い検査も実施致します。

STEP
7

搬入

STEP
8

立上試運転

装置搬入・設置後、製品の試運転を行い、生産できる体制まで責任を持って作業致します。

STEP
9

引渡し

STEP
10

アフターフォロー

装置の定期点検の実施、不具合発生時にも敏速に対応致します。

カスタマイズ

予算・スペースを考慮し、各処理工程とオプションを組合せることでウエハーの状態に合わせた装置設計を実現します。

装置別参考構成図


リフトオフ装置

HU型 量産向け

HU 3槽×5チャンバー
HU 3槽×5チャンバー
HU 3槽×2チャンバー
HU 3槽×2チャンバー
CHU型 研究開発・量産向け

CHU1 1層×1チャンバー
CHU1 1層×1チャンバー
CHU2 2層×2チャンバー
CHU2 2層×2チャンバー
HM型 研究開発・量産向け

HM2 2チャンバー
HM2 2チャンバー
HM4 4チャンバー
HM4 4チャンバー
MJ型 研究開発向け

MJ 1チャンバー
MJ 1チャンバー
MJ槽付 2層×1チャンバー
MJ槽付 2層×1チャンバー
SL型 量産向け

SL 2カセット処理 5層構成×スピンドライヤー式
SL 2カセット処理 5層構成×スピンドライヤー式
ML型 研究開発向け

ML 1カセット処理 3層構成
ML 1カセット処理 3層構成

自動 酸・アルカリ洗浄装置

SR型

1カセット処理
4層×スピンドライヤー式
ローダー/アンローダー兼用タイプ
SR1
1カセット処理
4層×スピンドライヤー式
ローダー/アンローダー兼用タイプ
2カセット処理 6層×スピンドライヤー式
SR2
2カセット処理 6層×スピンドライヤー式

自動 有機剥離洗浄装置

SU型

1カセット処理
4層×スピンドライヤー式
ローダー/アンローダー兼用タイプ
SU 2カセット処理 10層×スピンドライヤー式
2カセット処理 6層×スピンドライヤー式
SU 4カセット処理 10層×スピンドライヤー式
IU型

IU 2カセット処理 11層×IPAべーパー乾燥式
IU 2カセット処理 11層×IPAべーパー乾燥式

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