製品ラインアップ
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剥離・洗浄バッチ式エッチング装置(バッチ式洗浄装置)

長年培ってきた技術を活かし、コストダウンに配慮した仕様をご提案します。

■全自動酸・アルカリエッチング(洗浄)装置
■手動酸・アルカリエッチング(洗浄)装置
■RCA洗浄装置
■前面搬送機タイプ・背面上部搬送機タイプの他に、お客様のニーズに合わせ上部搬送機タイプ・背面搬送機タイプにも対応できます。
■キャリアレス搬送式、キャリア搬送式、キャリアハンガー搬送式等、コストに合わせてお選びいただけます。
■前後装置との受け渡し機構や外部通信機能の追加が可能。
■自動扉や自動蓋、自動薬液供給、秤量、回収装置を装備可能。
■エッチング液の濃度管理機構の装備が可能。対象薬液はご相談ください。(例:TMAH、KOH、HF、HCLなど)
■出荷前検査としてエッチング処理槽内の温度分布の計測が可能。
■上下揺動機構の他、ウエハー回転機構の追加が可能。

カスタマイズ
・漏洩センサー
・排気圧センサー
・非常停止スイッチ
・一時停止スイッチ(自動メカ付)
・扉センサー(自動メカ付)
・圧力スイッチ
・温度センサー(恒温度仕様)
・自動消火システム(有機用)
・パトライト
・網入りガラス又は強化ガラス(有機用)
・爆圧ハッチ(有機用)
・各種インターロック 等
※装置により一部機器は取付できない場合もある

薬液秤量タンク

洗浄槽

スピンドライヤー

IPAベーパー乾燥機能組込も可能

MS&比抵抗モニター付FR槽

QDR式リンス槽

バッチ式エッチング装置内部

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