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各処理工程にオプションを組込むことでウエハーの状態に合わせた装置設計を実現します。
予算、スペースも考慮した設計でお客様の安全を第一に考えた製品をご提供します。

リフトオフ


スピンジェット処理
スピンジェット処理
スピンジェット処理の様子
リフトオフ装置
リフトオフ装置
スチーム剥離の様子

リフトオフ装置オプション
リフトオフ装置オプション
ISFシステムの紹介

陽極酸化


陽極酸化装置
陽極酸化装置
一連動作の様子

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