
エッチングバッチ式エッチング装置(バッチ式洗浄装置)
長年培ってきた技術を活かし、コストダウンに配慮した仕様でご提案可能
・処理槽やリンス槽の数、乾燥方式等カスタマイズ可能
・RCA洗浄装置の製作が可能
・メンテナンス性に優れた、背面上部搬送機タイプ
・揺動機構に対応
・ウェハー回転機構に対応
・酸・アルカリ系と有機溶剤の混在仕様も対応可能
・角基板、小片ウェハ等、特殊な形状のワークもカセット設計から対応可能
・エッチング液の濃度管理機構の装備が可能
※対象薬液はご相談ください(例:TMAH、KOH、HF、HCLなど)
★東京テストセンターにてエッチングテストが可能です
詳しくは、ページ下部フォームよりお問合せ下さい。
- カスタマイズ
- ・漏洩センサー
・排気圧センサー
・非常停止スイッチ
・一時停止スイッチ(自動メカ付)
・扉センサー(自動メカ付)
・圧力スイッチ
・温度センサー(恒温度仕様)
・自動消火システム(有機用)
・パトライト
・網入りガラス又は強化ガラス(有機用)
・爆圧ハッチ(有機用)
・各種インターロック 等
※装置により一部機器は取付できない場合もある