エッチングスピンエッチング(洗浄)装置
少量多品種の生産・試作・開発に対応した枚葉処理モデル
・チャンバーの数、ブラシ有無等、カスタム対応が可能。
・スピン洗浄装置の製作が可能。
・2液混合ノズルにより直接、2種類の原液を使用した洗浄処理を実現
・混合比率を調整することにより反応熱で狙いの温度に昇温することが可能
・フォトマスク洗浄装置の製作が可能
・RCA洗浄装置の製作が可能
・NaOHエッチング対応
★東京テストセンターにてエッチングテストが可能です
詳しくは、ページ下部フォームよりお問合せ下さい。