
リフトオフオプションDoM Jet System(液中ジェットシステム)
液中高圧ジェット機能とクイックダンプ機能で、金属膜剥離の実施やレジスト残渣の再付着を防止が可能なシステム(特許取得技術)
液中高圧Jet機能
・枚葉の高圧Jet処理に代わる機能であり、DoM Jet Systemの主機能。
・処理中のウェハーに強固にこびりついた金属膜を剥ぎ落とす。
・弊社オプション「Suffix System」との併用で、より確実なものとなる。
クイックダンプ機能
・処理槽内に浮遊している剥離された金属膜やレジスト残渣を
・槽外へ排出する機能。「QDR」と同様の動作で、剥離された金属膜や
レジスト残渣の再付着を防止する。
(QDR…Quick Dump Rinse。剥離層への急速排水と給水を数回行って洗浄する方法)
★剥離槽を有するリフトオフ装置に搭載可能(HU型、SL型、ML型)
詳しくは、ページ下部フォームよりお問合せください。
- 対応装置
- ・HU型
・SL型
・ML型
※各型式の詳細は、「リフトオフ」リンクからご覧ください。