実機見学 / テスト
VISIT & PILOT TEST

半導体製造装置 テストエリア

What is DALTON’s TEST AREA

ダルトンは、東京都墨田区に位置するテストセンター内にて、お客様のワークをテストし最適な処理条件を検証できるテストエリアを設けております。半導体製造装置テストエリアでは、クラス1000のクリーンブースに各種テスト機を設置。お客様にとって最適な装置や条件を選定するための環境をご用意しております。オンラインでのテストも可能です。

半導体テストエリアの特長

What you can do at TEST AREA

半導体製造装置のテストエリアでは、お客様の課題解決に繋がる最適なソリューションをご提案するために以下の環境を整えております。

01.豊富なテスト機ラインアップで、あらゆるワークの評価に対応 LINE UP

リフトオフ、剥離、洗浄の工程においてバッチ式、スピン式の装置を幅広く有しています。酸系、アルカリ系、有機系の薬液に対応可能です。スピンドライヤー、IPAベーパー乾燥装置など、乾燥工程に対応するテスト機もございます。

ハザードエリア2

左:バッチ式エッチング装置
右:リフトオフ装置(枚葉式)

02.クリーン環境でワークのテストが可能 CLEAN AREA

テスト機はクリーンブース内に設置。清浄度クラス1000を確保します。ワークの洗浄、リンスには超純水が使用可能です。

ハザードエリア2

左:クリーンブース内にテスト機を設置
右:超純水装置から給水が可能です

03.検査設備 INSPECTION

工業用検査顕微鏡を備えています。蛍光観察、微分干渉観察にも対応し、顕微鏡画像データの提供も可能です。

ハザードエリア2

工業用検査顕微鏡を使用してご確認が可能です

実施できるテストパターン

TEST PATTERN

テストセンターで実施頂けるテストパターンの一例をご紹介します。

01.バッチ式 レジスト剥離処理 PATTERN

STEP.1バッチ式剥離装置での剥離処理
(フィルター循環、温調80℃、超音波 40&120kHz、上下揺動、Suffix System あり)
STEP.2バッチ式洗浄装置での薬液リンス
STEP.3QDR槽でのリンス
STEP.4IPAベーパー乾燥装置での乾燥
ハザードエリア2

02.バッチ式+枚葉式 リフトオフ処理 PATTERN

STEP.1バッチ式剥離装置での膨潤処理 (フィルター循環、温調70℃、超音波40kHz、上下前後揺動)
STEP.2枚葉式リフトオフ装置での高圧ジェット処理 (温調80℃、ジェット圧力20MPa)
STEP.3同装置でのリンス (IPA置換、純水リンス)
STEP.4同装置での高速スピン乾燥
ハザードエリア2

03.バッチ式 ウェットエッチング処理 PATTERN

STEP.1バッチ式エッチング装置でのエッチング処理 (フィルター循環、温調40℃、上下揺動)
STEP.2バッチ式エッチング装置でのリンス (純水QDR ⇒ 純水OF)
STEP.3スピンドライヤでの乾燥
ハザードエリア2

04.枚葉式 スピン洗浄処理 PATTERN

STEP.1枚葉式スピン洗浄装置での薬液洗浄処理 (2液混合ノズル、温調110℃)
STEP.2同装置でのブラシスクラブ洗浄
STEP.3同装置での純水リンス
STEP.4同装置での高速スピン乾燥
ハザードエリア2

テスト機ラインアップ

LINE UP

半導体製造装置のテストエリアにてご用意している、各種テスト機のラインアップをご紹介いたします。

リフトオフ装置

リフトオフ装置①

リフトオフ装置①

対応基板サイズ2インチ〜12インチ
角基板は要相談にて対応
高圧JETノズルツイン(垂直+斜めノズル)
JET圧力3MPa〜15MPa(温調JET可 Max 100℃)
パドルノズル付き
両面リンス付き
エアーブロー付き
チャック構造ピンチャック or 吸着チャック
剥離用薬液リユースシステム付き
リフトオフ装置②

リフトオフ装置②

対応基板サイズ2インチ〜8インチ
高圧JETノズルツイン(垂直+斜めノズル)
JET圧力3MPa〜20MPa
( 温調JET可 Max 100℃)
2流体ノズル付き
パドルノズル付き
両面リンス付き
エアーブロー付き
チャック構造ピンチャック or 吸着チャック
チャンバー自動洗浄機能付き
剥離用薬液リユースシステム付き
ウエハー自動搬送ロボット付き

剥離装置

剥離装置①/1面オーバーフロー槽

剥離装置①/1面オーバーフロー槽

対応基板サイズ2インチ〜8インチ
角基板は要相談にて対応
温調機能インラインヒーター付き Max90℃
揺動機構上下揺動方式
(高速揺動対応 Max120回/分)
槽構造1面オーバーフロー構造
ダウンフロー循環、スクリューフローが可能
薬液量約35〜55L
超音波周波数 40&120kHz 出力 600W
ダイナショックモジュレーション機能
Flush Drain機能内槽内を洗浄し、バッファタンクへ排出
Suffix 循環機能
ISF(インラインスラッジ除去装置) 10µm < 98%以上
超音波モニター
剥離装置②/DoM Jet System付きオーバーフロー槽

剥離装置②/DoM Jet System付きオーバーフロー槽

対応基板サイズ2インチ〜8インチ
(2〜4インチは2カセット処理可能)
角基板は要相談にて対応
温調機能付き Max100℃
揺動機構上下・左右
槽構造1面オーバーフロー構造
薬液量約65L
超音波付き(周波数 38kHz、80kHz、120kHz、165kHz出力 600W)
フィルター循環+ISF機能
Suffix循環機能付き
超音波モニター付き
USF(ウルトラメッシュフィルター)付き

乾燥装置

乾燥装置①/スピンドライヤー

乾燥装置①/スピンドライヤー

対応基板サイズ2インチ〜8インチ
方式対向式
回転数Max800rpm
イオナイザー付き
HEPAユニット付き
乾燥装置②/IPAベーパー乾燥装置

乾燥装置②/IPAベーパー乾燥装置

対応基板サイズ2インチ〜8インチ
方式自動昇降
槽材質ステンレス

エッチング装置

バッチ式エッチング装置

バッチ式エッチング装置

対応基板サイズ4、6インチキャリア×2カセット処理
搬送自動搬送 チャック式
エッチング槽4面オーバーフロー構造
温調機能付き 20〜80℃
揺動機構付き 上下(ウエハー回転機能付き)
QDR槽シャワー機能付き
ファイナル
リンス槽
比抵抗計付き
スピンエッチング装置

スピンエッチング装置

対応基板サイズ2、3、4、6インチ
角基板は要相談にて対応
温調機能付き Max 80℃
薬液ノズル2ヘッド(うち1ヘッドは、2液混合ノズル)
リンスノズル1ヘッド(マイクロナノバブル対応)
エアーブロー付き
チャック構造ピンチャック
薬液供給ポリタンク
薬液回収ポリタンク

その他

QDR槽

QDR槽

対応基板サイズ2インチ〜8インチ
1カセット処理
温調機能なし
揺動機構なし
槽構造4面オーバーフロー構造
上部シャワーノズル付き
槽容量約10L
バブリング機構なし
超音波なし

施設情報

INFORMATION

半導体製造装置の実機見学 / テストをご希望の方は、フォームよりお問合せの上、以下のエリアまでお越しください。

Google
地図データ ©2023 Google
地図データ ©2023 Google
住所
〒130-0002
東京都墨田区業平1-1-9(隅田ロジックス)

交通アクセス

  • 本所吾妻橋駅 A2出口(都営地下鉄浅草線)
  • とうきょうスカイツリー駅 出入口1(東武スカイツリーライン)
  • 押上駅 B2出口(東京メトロ半蔵門線・京成線)

どちらの駅からでも徒歩で7〜8分
※東京駅から20〜30分

実機見学やテストのご依頼については、
下記フォームにて受け付けております。

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連絡先:isd@dalton.co.jp

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