テスト機ラインアップ
LINE UP
 

テスト機ラインアップ

バッチ式エッチング装置1台
スピンエッチング装置1台
リフトオフ装置(自動/手動)計2台
剥離/リフトオフ装置(1面オーバーフロー槽)1台
剥離/リフトオフ装置(DoM Jet System付きオーバーフロー槽)1台
QDR槽1台
乾燥装置(スピンドライヤー)1台
乾燥装置(IPAベーパー乾燥装置)1台
検査装置(検査顕微鏡システム)2台
溶剤再生装置1台

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