テスト機ラインアップ
| バッチ式エッチング装置 | 1台 |
| スピンエッチング装置 | 1台 |
| リフトオフ装置（自動/手動） | 計2台 |
| 剥離/リフトオフ装置（１面オーバーフロー槽） | 1台 |
| 剥離/リフトオフ装置（DoM Jet System付きオーバーフロー槽） | 1台 |
| QDR槽 | 1台 |
| 乾燥装置（スピンドライヤー） | 1台 |
| 乾燥装置（IPAベーパー乾燥装置） | 1台 |
| 検査装置（検査顕微鏡システム） | 2台 |
| 溶剤再生装置 | 1台 |
| バッチ式エッチング装置 | 1台 |
| スピンエッチング装置 | 1台 |
| リフトオフ装置（自動/手動） | 計2台 |
| 剥離/リフトオフ装置（１面オーバーフロー槽） | 1台 |
| 剥離/リフトオフ装置（DoM Jet System付きオーバーフロー槽） | 1台 |
| QDR槽 | 1台 |
| 乾燥装置（スピンドライヤー） | 1台 |
| 乾燥装置（IPAベーパー乾燥装置） | 1台 |
| 検査装置（検査顕微鏡システム） | 2台 |
| 溶剤再生装置 | 1台 |