テスト機ラインアップ
バッチ式エッチング装置 | 1台 |
スピンエッチング装置 | 1台 |
リフトオフ装置(自動/手動) | 計2台 |
剥離/リフトオフ装置(1面オーバーフロー槽) | 1台 |
剥離/リフトオフ装置(DoM Jet System付きオーバーフロー槽) | 1台 |
QDR槽 | 1台 |
乾燥装置(スピンドライヤー) | 1台 |
乾燥装置(IPAベーパー乾燥装置) | 1台 |
検査装置(検査顕微鏡システム) | 2台 |
溶剤再生装置 | 1台 |
バッチ式エッチング装置 | 1台 |
スピンエッチング装置 | 1台 |
リフトオフ装置(自動/手動) | 計2台 |
剥離/リフトオフ装置(1面オーバーフロー槽) | 1台 |
剥離/リフトオフ装置(DoM Jet System付きオーバーフロー槽) | 1台 |
QDR槽 | 1台 |
乾燥装置(スピンドライヤー) | 1台 |
乾燥装置(IPAベーパー乾燥装置) | 1台 |
検査装置(検査顕微鏡システム) | 2台 |
溶剤再生装置 | 1台 |