
レジスト塗布・現像デベロッパー(現像装置)
フォトリソグラフィー工程で、レジストを塗布・露光した基板を現像処理する装置
・キャリアごとディップするバッチ式、一枚ずつスピン処理する枚葉式を備える
・スピン現像装置はスピンチャンバー内で現像液・純水リンス・スピン乾燥を行い、ポストベークまでの工程を自動で実施
・各種薬液に対応し、温度調節や吐出方式、必要とする処理能力に応じて、各ポジション数も任意にカスタマイズ可能
詳しくは、ページ下部フォームよりお問合せ下さい。
フォトリソグラフィー工程で、レジストを塗布・露光した基板を現像処理する装置
・キャリアごとディップするバッチ式、一枚ずつスピン処理する枚葉式を備える
・スピン現像装置はスピンチャンバー内で現像液・純水リンス・スピン乾燥を行い、ポストベークまでの工程を自動で実施
・各種薬液に対応し、温度調節や吐出方式、必要とする処理能力に応じて、各ポジション数も任意にカスタマイズ可能
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