
レジスト塗布・現像スピンコーター
フォトリソグラフィー工程においてシリコンウエハ、ガラス基板などにフォトレジスト等を滴下し、基板表面にフォトレジスト膜を均一に形成させる装置
・コンパクト・多機能設計のコストパフォーマンス機
・マイコン搭載型で回転制御が可能(回転、停止、スローアップ、スローダウン)
・多段式、100ステップまで設定可能
・回転精度の高さ、設定回転数に対して±1rpm(無負荷時)、回転数300〜8,000rpm
・プログラム式多機能機
・角基板等に便利な停止位置設定機能
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