
レジスト塗布・現像スピンコーター用ドラフトチャンバー
卓上型のスピンコーター、スピン現像装置、スピンエッチング装置の設置を目的としたドラフトチャンバー
・使用薬液の雰囲気、臭気が作業者に影響しない排気型
・深流し構造(シンクが深い)も対応可能なため、基板をセットするステージの高さを低くすることができ作業性が向上
・作業面が下がるためドラフトの扉を大きく開ける必要がなく排気量低減にも繋がる
詳しくは、ページ下部フォームよりお問合せ下さい。
卓上型のスピンコーター、スピン現像装置、スピンエッチング装置の設置を目的としたドラフトチャンバー
・使用薬液の雰囲気、臭気が作業者に影響しない排気型
・深流し構造(シンクが深い)も対応可能なため、基板をセットするステージの高さを低くすることができ作業性が向上
・作業面が下がるためドラフトの扉を大きく開ける必要がなく排気量低減にも繋がる
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