
乾燥IPAベーパー乾燥装置
IPA蒸気雰囲気中においてウエハーを乾燥する装置
・ベーパー発生槽底面の研磨技術と特殊表面加工をしたプレートヒーターの使用により、IPAを均一に沸騰させ、槽内に均一なベーパーを発生可能
・各基板の全面に、均一にIPAベーパーが凝縮する為、全ての基板において均一な乾燥処理が可能
・石英槽のため金属溶出がない
詳しくは、ページ下部フォームよりお問合せ下さい。
IPA蒸気雰囲気中においてウエハーを乾燥する装置
・ベーパー発生槽底面の研磨技術と特殊表面加工をしたプレートヒーターの使用により、IPAを均一に沸騰させ、槽内に均一なベーパーを発生可能
・各基板の全面に、均一にIPAベーパーが凝縮する為、全ての基板において均一な乾燥処理が可能
・石英槽のため金属溶出がない
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