乾燥スピンドライヤー
ウエハーを回転させ、遠心力と気流の吸引によりウエハー上の水分を乾燥させる装置
・1キャリアから4キャリア処理まで対応可能
・自動機への組込も可能
・割れ易い(GaAsなど)ワーク用もあります
詳しくは、ページ下部フォームよりお問合せ下さい。
ウエハーを回転させ、遠心力と気流の吸引によりウエハー上の水分を乾燥させる装置
・1キャリアから4キャリア処理まで対応可能
・自動機への組込も可能
・割れ易い(GaAsなど)ワーク用もあります
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