乾燥セミオートベーク装置
レジスト塗布後のプリベーク及び現像後のポストベーク用で、1枚搬送を備えた半自動ベーク装置
・作業者が熱源に触れるリスクを低減して安全性を確保
・タイマー自動処理のため作業性が格段に向上
・簡易操作で熟練度が不要、プロセスの安定化に貢献
レジスト塗布後のプリベーク及び現像後のポストベーク用で、1枚搬送を備えた半自動ベーク装置
・作業者が熱源に触れるリスクを低減して安全性を確保
・タイマー自動処理のため作業性が格段に向上
・簡易操作で熟練度が不要、プロセスの安定化に貢献