
リフトオフMJ型(研究開発向け)
ウエハーの投入・払出は手動操作が可能な枚葉式ウェット処理装置
・手動搬送式(ウエハーの投入・払出以外は自動)
・ロボットでは搬送が難しいワークの処理が可能
・角基板、異形・小片ウェハなどの処理が可能
・高圧ジェット処理のみで剥離が可能なウエハーに最適
★東京テストセンターにてリフトオフテストが可能です
詳しくは、ページ下部フォームよりお問合せください。
- カスタマイズ
- ・スピンチャンバー
- 対応オプション
- ・USF System
・ISF System
・新ジェットチャンバー機能
※オプションの詳細は「リフトオフオプション」リンクからご覧ください。