製品ラインアップ
PRODUCTS

リフトオフML型(研究開発向け)

バッチ式 研究開発向け
ウエハーの状態(剥離しにくい、傷つきやすい、割れやすい)に合わせ、各工程及び仕様を選定し、装置をカスタマイズします。

■SL型からローダー、搬送機、アンローダーを削除した装置。
■ディップ槽のみでリフトオフ処理を行なうシャワードレン式リフトオフ装置。
■枚葉式に比べ、処理時間が短縮可能。
■上方からのシャワーと下方のドレンにより、剥離スラッジの再付着を防止。

カスタマイズ
○剥離槽
○リンス槽
○乾燥

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